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流体二维超光滑精密抛光加工装备研制探讨
引用本文:何冰强,郭钟宁,于兆勤. 流体二维超光滑精密抛光加工装备研制探讨[J]. 机电工程技术, 2004, 33(12): 50-51
作者姓名:何冰强  郭钟宁  于兆勤
作者单位:1. 广东省机械研究所,广东广州,510635;广东工业大学,广东广州,510090
2. 广东工业大学,广东广州,510090
基金项目:国家自然科学基金资助项目(编号:50375029)
摘    要:本文介绍了当前超光滑表面的加工工艺,结合“流体二维振动的物理-化学复合原子级表面加工”理论,研发了一种流体二维超光滑精密抛光加工装备。试验表明该装备是切实可行的。

关 键 词:流体  抛光  装备  探讨
文章编号:1009-9492(2004)12-0050-02
修稿时间:2004-07-29

Study on Equipment of Ultra-smooth Precise Polishing Based on Liquid Two Dimension Vibration
Abstract:
Keywords:
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