| TiZrV吸气剂的制备及吸气性能研究 |
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| 引用本文： | 褚永俊,熊玉华,杜军,尉秀英,秦光荣.TiZrV吸气剂的制备及吸气性能研究[J].稀有金属,2009,33(1). |
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| 作者姓名： | 褚永俊 熊玉华 杜军 尉秀英 秦光荣 |
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| 作者单位： | 北京有色金属研究总院先进电子材料研究所,北京,100088 |
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| 摘 要： | 采用粉末冶金的方法制备了TiZrV合金吸气剂,研究了烧结温度、 激活温度和激活保温时间对吸气剂性能的影响.采用XRD测定TiZrV合金的相结构,用SEM观察烧结型TiZrV吸气剂的表面形貌,用EDS分析其表面的成分,用定压法吸气性能测试台测试其吸气性能.结果表明,TiZrV吸气剂的最佳激活温度为400 ℃,最佳烧结温度为700 ℃.
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| 关 键 词： | 吸气剂 激活温度 吸气性能 |
Preparation of TiZrV Getter and Its Sorption Characteristics |
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| Chu Yongjun,Xiong Yuhua,Du Jun,Wei Xiuying,Qin Guangrong.Preparation of TiZrV Getter and Its Sorption Characteristics[J].Chinese Journal of Rare Metals,2009,33(1). |
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| Authors: | Chu Yongjun Xiong Yuhua Du Jun Wei Xiuying Qin Guangrong |
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| Keywords: | TiZrV |
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