| 薄膜混合微电路双面电阻图形制作技术 |
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| 引用本文： | 张峤,谢杰林.薄膜混合微电路双面电阻图形制作技术[J].微电子学与计算机,1997,14(2):14-16. |
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| 作者姓名： | 张峤 谢杰林 |
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| 作者单位： | 西安微电子技术研究所!临潼，710600 |
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| 摘 要： | 本文简要从版图设计、工艺等方面介绍薄膜双面电阻图形的制作技术．薄膜双面电阻图形基饭附会标准要求，可实现小批量生产。依此基板研制了LHB2004带温控正、负恒流源混合微电路。
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| 关 键 词： | 设计 工艺 薄膜混合微电路 |
Technology of Double-side Resistor Networks of HIC |
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| Zhang Qiao, Xie Jielin, Zhang Baoshan, Xu Chen.Technology of Double-side Resistor Networks of HIC[J].Microelectronics & Computer,1997,14(2):14-16. |
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| Authors: | Zhang Qiao Xie Jielin Zhang Baoshan Xu Chen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Design Process HIC |
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