| 硅基光波导结构与器件 |
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| 引用本文： | 刘育染 王启明. 硅基光波导结构与器件[J]. 红外与毫米波学报, 1996, 15(1): 65-71 |
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| 作者姓名： | 刘育染 王启明 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室 |
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| 摘 要： | 简要评述硅基光波导的结构，工艺及其器件，包括低损耗的硅基光波导，电光波导器件，红外波导探测器，氧化硅光回路等。
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| 关 键 词： | 硅 光波导 工艺 器件 |
SI BASED OPTICAL WAVEGUIDE STRUCTURES AND DEVICES |
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| Liu Yuliang Wang Qiming. SI BASED OPTICAL WAVEGUIDE STRUCTURES AND DEVICES[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 1996, 15(1): 65-71 |
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| Authors: | Liu Yuliang Wang Qiming |
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| Abstract: | This paper presents a concise review of the silicon based optical waveguides, devices and technology.The low loss waveguides,electro optic waveguide devices,waveguide photodetectors for infrared radiation detection,and SiO 2 optical circuits are included. |
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| Keywords: | silicon optical waveguide. |
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