长波红外减反射膜及锥镜膜厚均匀性研究

红外探测因全天候、作用距离远和抗干扰性好等优点而被广泛应用。本文提出在锥镜上制备8～12μm反射率小于0.5%的长波红外减反射膜，利用Essential Macleod软件，在ZnS基片上完成了长波红外减反射膜的膜系设计。采用物理气相沉积方法，选择n=4.3@10μm的Ge做基片和镀膜材料的粘结层，n=2.2@10μm的ZnS为高折射率材料，n=1.35@10μm的YF₃为低折射率材料，完成了光学薄膜的制备。提出锥镜膜厚均匀性的补偿方法，通过使用修正后的补偿挡板，使10°锥镜薄膜厚度均匀性达到99%。利用Lamda1050光谱仪测试了锥镜的反射光谱曲线和薄膜厚度均匀性测试曲线，结果表明所研制的膜层在8～12μm处反射率均值为1.483%,对试验件开展了环境适应性测试，测试结果满足使用要求。

Study on thickness uniformity of long wave infraredantireflection film and conical mirror