磁控溅射中生长参数对氧化锌薄膜性能的影响

介绍了氧化锌的应用和制备方法，着重研究了磁控溅射中各生长参数如衬底温度、氧分压及工作压强对氧化锌薄膜结晶质量和电学性能的影响。