氮化铝陶瓷中氧质量分数及其分布的测定 |
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引用本文: | 韩丽辉,张智睿,吴昊阳,秦明礼,陈学娟.氮化铝陶瓷中氧质量分数及其分布的测定[J].粉末冶金技术,2023(2):97-107. |
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作者姓名: | 韩丽辉 张智睿 吴昊阳 秦明礼 陈学娟 |
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作者单位: | 1. 北京科技大学冶金与生态工程学院;2. 北京科技大学新材料技术研究院 |
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基金项目: | 河北省省级科技计划资助项目(20311001D); |
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摘 要: | 氮化铝陶瓷以其优异的导热性能成为集成电路、半导体及大功率器件的重要封装材料,然而杂质氧含量(质量分数)直接影响着氮化铝陶瓷的导热性能。准确测定氮化铝陶瓷内氧含量(质量分数)及其分布十分重要。在惰性熔融红外吸收法基础上,对氮化铝陶瓷中不同形式氧含量分析方法进行了研究。通过步进式升温模式对样品中的表面吸附氧、晶界氧和晶格氧的氧含量进行分开测定,探讨了坩埚、裕料的选择及测试过程对结果的影响,分析了石墨粉含量对晶界氧的释放作用,最终优化了升温程序、加粉顺序以及称样量。通过氮化铝陶瓷样品多次平行试验对测定方法的准确性进行了验证,实测晶界氧和晶格氧含量的相对标准偏差分别为4.5%、8.5%,能够满足相关科研要求。
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关 键 词: | 氮化铝 氧分布 惰性熔融 红外吸收法 |
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