基于混合气体活化的硅基钽酸锂晶圆键合研究 |
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作者姓名: | 刘等等 帅垚 黄诗田 吴传贵 张万里 |
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作者单位: | 重庆邮电大学 光电工程学院,重庆 400065;电子科技大学重庆微电子产业技术研究院,重庆 401332;电子科技大学重庆微电子产业技术研究院,重庆 401332;电子科技大学 电子科学与工程学院,四川 成都 611731;电子科技大学 电子科学与工程学院,四川 成都 611731 |
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基金项目: | 四川省科技计划资助(2020YFJ0002); |
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摘 要: | 集成在硅基衬底上的钽酸锂薄膜在新型声学器件上具有重要应用,等离子体活化键合是其主要的集成方式,相关研究报道众多但仍缺乏对等离子体活化工艺的深入研究。本文研究了LT和Si衬底晶圆在不同活化气氛、频率和时间下的亲水性接触角变化情况,探索了一套可以显著提高键合强度的活化参数。研究结果发现,对晶圆表面采用N2加O2混合活化60 s后,LT和Si衬底晶圆亲水性接触角达到最小值,分别为4.244°和3.859°。键合后用SEM扫描了样片的横截面,发现键合质量良好。最后对比了用O2、N2和Ar活化60 s,以及N2加O2混合活化60 s后键合片的键合强度,发现混合气体活化后键合强度最大,达到了9.05 MPa。
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关 键 词: | 晶圆键合 亲水角 活化 钽酸锂 硅基 键合强度 |
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