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一种宽带声表面波滤波器的设计
引用本文:陈晓阳,王永安,袁燕,曹玉. 一种宽带声表面波滤波器的设计[J]. 压电与声光, 2022, 44(2): 238-241
作者姓名:陈晓阳  王永安  袁燕  曹玉
作者单位:北京无线电测量研究所,北京 100854 ;北京航天微电科技有限公司,北京 100854
摘    要:基于大机电耦合系数LiNbO3材料,该文设计了一种激发Love波模式的宽带低损耗声表面波滤波器。研究了不同切向下LiNbO3材料的机电耦合系数,以及不同切向、膜厚下15°YX-LiNbO3的瑞利波激发情况。测试结果表明,采用铜电极对谐振器进行切趾加权抑制横向模式,宽带滤波器可实现较小的插入损耗和较好的通带特性。

关 键 词:LiNbO3  Love波  宽带  声表面波(SAW)  瑞利波  横向模式

The Design of a Wideband SAW Filter
Abstract:
Keywords:
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