一种宽带声表面波滤波器的设计 |
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引用本文: | 陈晓阳,王永安,袁燕,曹玉. 一种宽带声表面波滤波器的设计[J]. 压电与声光, 2022, 44(2): 238-241 |
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作者姓名: | 陈晓阳 王永安 袁燕 曹玉 |
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作者单位: | 北京无线电测量研究所,北京 100854 ;北京航天微电科技有限公司,北京 100854 |
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摘 要: | 基于大机电耦合系数LiNbO3材料,该文设计了一种激发Love波模式的宽带低损耗声表面波滤波器。研究了不同切向下LiNbO3材料的机电耦合系数,以及不同切向、膜厚下15°YX-LiNbO3的瑞利波激发情况。测试结果表明,采用铜电极对谐振器进行切趾加权抑制横向模式,宽带滤波器可实现较小的插入损耗和较好的通带特性。
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关 键 词: | LiNbO3 Love波 宽带 声表面波(SAW) 瑞利波 横向模式 |
The Design of a Wideband SAW Filter |
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Abstract: | |
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Keywords: | |
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