| 低温漂薄膜体声波谐振器研究 |
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| 引用本文： | 蒋世义,蒋平英,刘娅,甄静怡,徐阳,彭霄,唐中剑.低温漂薄膜体声波谐振器研究[J].压电与声光,2022,44(2):171-174. |
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| 作者姓名： | 蒋世义 蒋平英 刘娅 甄静怡 徐阳 彭霄 唐中剑 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司 第二十六研究所,重庆 400060;重庆青年职业技术学院 人工智能学院,重庆 400712 |
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| 基金项目： | 重庆市教委科学技术研究基金资助项目(KJQN201904106) |
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| 摘 要： | 该文介绍了一种基于空腔结构的温度补偿型薄膜体声波谐振器(TC-FBAR)。通过在压电层上方生长SiO2温度补偿层，实现谐振器的低温漂。未采用温度补偿的薄膜体声波谐振器，其频率温度系数约为-25×10-6/℃。通过适当的膜层结构设计，可使其频率温度系数在±3×10-6/℃。结果表明，由于温度补偿层的增加，导致器件总体压电效应降低，使谐振器的有效机电耦合系数降低。低温漂谐振器的实现，为窄带低温漂滤波器的研制提供了有效的设计和工艺技术支撑。
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| 关 键 词： | 薄膜体声波谐振器(FBAR) 频率温度系数 低温漂 温度补偿 |
Study on Thin Film Bulk Acoustic Resonator with Low Temperature Drift |
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| JIANG Shiyi,JIANG Pingying,LIU Y,ZHEN Jingyi,XU Yang,PENG Xiao,TANG Zhongjian.Study on Thin Film Bulk Acoustic Resonator with Low Temperature Drift[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2022,44(2):171-174. |
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| Authors: | JIANG Shiyi JIANG Pingying LIU Y ZHEN Jingyi XU Yang PENG Xiao TANG Zhongjian |
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| Affiliation: | The 2 6.th Institute of China Electronics Technology Group Corporation,Chongqing 400060 ,China; School of Artificial Intelligence,Chongqing Youth Vocational & Technical College,Chongqing 400712 ,China |
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| Abstract: | |
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