| 片式抗EMI低通滤波器的LTCC工艺研究 |
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| 引用本文： | 覃荣震,刘颖力,燕文琴,张怀武.片式抗EMI低通滤波器的LTCC工艺研究[J].压电与声光,2009,31(1). |
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| 作者姓名： | 覃荣震 刘颖力 燕文琴 张怀武 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054 |
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| 摘 要： | 采用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺实现抗电磁干扰(EMI)低通滤波器,针对在工艺流程中出现的各种问题,通过分析后提出解决方案,经反复实验,成功制作出与设计目标相符合的器件.所总结的工艺经验同样适用于基于LTCC工艺的其他器件.
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| 关 键 词： | 低温共烧陶瓷 抗电磁干扰 低通滤波器 工艺 |
The LTCC Process Study on the Chip Anti-EMI Low-pass Filter |
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| QIN Rong-zhen,LIU Ying-li,YAN Wen-qin,ZHANG Huai-wu.The LTCC Process Study on the Chip Anti-EMI Low-pass Filter[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2009,31(1). |
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| Authors: | QIN Rong-zhen LIU Ying-li YAN Wen-qin ZHANG Huai-wu |
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