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| 半导体技术 | |
| 摘 要： | O47 2010020641生长温度对ZnO薄膜晶体质量和发光特性的影响/张栋,王长征,何英(聊城大学物理科学与信息工程学院)//光学学报.―2009,29(10).―2938～2942.采用激光脉冲沉积法在Si(100)衬底上生长ZnO薄膜,衬底温度分别为 |
| 关 键 词： | 国家重点实验室 制备 电子器件 信息工程学 量子点 扫描电子显微镜 掺杂浓度 薄膜 半导体技术 中国科学院 |
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