| 纳米技术与纳米计量 |
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| 引用本文： | 高思田,王春艳.纳米技术与纳米计量[J].现代计量测试,2000,8(1):3-12. |
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| 作者姓名： | 高思田 王春艳 |
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| 作者单位： | 中国计量科学研究院!北京100013 |
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| 摘 要： | 对几中纳米技术进行了综述。纳米计量仪器由三大部分组成：位移系统、计量系统和探测系统，文中论述了这三个部分的现状及发展趋势。最后介绍了计量院的计量型原子力显微镜及兼容型扫描探针显微镜的特点和技术指标，并给出了测量实例。
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| 关 键 词： | 纳米计量 纳米材料 纳米测量技术 计量仪器 |
Nato-technology and Nato-metrology |
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| GAO Si\|tian,WANG Chun\|yan,YE Xiao\|you,XU Yi.Nato-technology and Nato-metrology[J].Modern Measurement and Test,2000,8(1):3-12. |
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| Authors: | GAO Si\|tian WANG Chun\|yan YE Xiao\|you XU Yi |
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| Abstract: | Several nato\|technologies are reviewed in this paper.The present situation and development of the nato\|metrological instruments,which consist of the displacement system,measuring system and detection system,are described,and the features and specifications of the metrological atomic force microscope and the compatible scanning probe microscope developed by NIM are given. |
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| Keywords: | nato-technology noto-metrology scanning probe microscope |
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