| 太阳能硅片双束激光划槽方法与装置 |
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| 引用本文： | 王涛,李玉翔,张福军,姚建铨,刘晓雯,李福增,朱超男.太阳能硅片双束激光划槽方法与装置[J].四川激光,2008,29(6). |
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| 作者姓名： | 王涛 李玉翔 张福军 姚建铨 刘晓雯 李福增 朱超男 |
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| 作者单位： | 河北工业大学机械学院，无锡浩波光电子有限公司技术部，天津大学激光与光电子研究所 |
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| 基金项目： | 科技型中小企业技术创新基金无偿资助项目;立项代码:07C26223200378
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江苏省高技术研究
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项目
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| 摘 要： | 本文提出一种太阳能硅片双束激光划槽方法和装置,它利用Z型谐振腔的Nd:YAG激光器,声光Q开关调制,经直角棱镜发射双束激光,扩束聚焦输出到太阳能硅片表面,划槽最小线宽:20μm,最大划片速度:120mm/s、使生产率提高100%,节约能源30%。
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| 关 键 词： | Z型谐振腔 双束激光 太阳能硅芯片 |
The method and device of dual-beam laser lane designated slot for Solar silicon chip |
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| WANG Tao,,LI Yu-xiang,ZHANG Fu-jun,YAO Jian-quan,LIU Xiao-wen,LI Fu-zen,ZHU Chao-nan,.College of Mechanism Engineering,Hebei Industry University,Tianjin ,China,.Technology.The method and device of dual-beam laser lane designated slot for Solar silicon chip[J].Laser Journal,2008,29(6). |
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| Authors: | WANG Tao LI Yu-xiang ZHANG Fu-jun YAO Jian-quan LIU Xiao-wen LI Fu-zen ZHU Chao-nan College of Mechanism Engineering Hebei Industry University Tianjin China Technology |
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| Affiliation: | WANG Tao1,2,3,LI Yu-xiang3,ZHANG Fu-jun2,YAO Jian-quan3,LIU Xiao-wen1,2,LI Fu-zen1,3,ZHU Chao-nan2,31.College of Mechanism Engineering,Hebei Industry University,Tianjin 300130,China,2.Technology Department of Wuxi Hope Opto-electronic Co.Ltd,Wuxi 214028,China,3.Institute of Lasers and Optoelectronics,Tianjin University,Tianjin 300072,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Z-type resonator dual-beam laser solar silicon chip |
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