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a-SiCx∶H和β-SiC中Er缺陷结构及其1.54μm发光探索
引用本文:薛俊明,孙钟林,刘志钢,周伟.a-SiCx∶H和β-SiC中Er缺陷结构及其1.54μm发光探索[J].电子学报,2000,28(8):135-138.
作者姓名:薛俊明  孙钟林  刘志钢  周伟
作者单位:1. 南开大学光电子所,天津 300071;2. 中科院半导体所材料科学实验室,北京 100083
基金项目:中国科学院重点实验室基金;;
摘    要:本文提出在宽带隙的a-SiCx∶H或β-SiC中共掺铒和氧以实现铒的1.54μm光发射。用集团模型和电荷自洽的EHMO理论计算了β-SiC中Er缺陷的电子结构,并在实验上实现了Er在a-SiCx∶H中的1.54μm光致发光(77K).结果表明,β-SiC或a-SiCx:H有可能是实现Er的1.54m室温高效发光的优良基质材料.

关 键 词:硅基合金  Er-O复合体  发光  分子轨道理论  
收稿时间:1999-05-04
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