| ZnO薄膜的结构、性能及其应用 |
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| 引用本文： | 赵印中,李林,许旻,何延春,吴春华,王洁冰. ZnO薄膜的结构、性能及其应用[J]. 真空与低温, 2009, 15(1): 48-51 |
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| 作者姓名： | 赵印中 李林 许旻 何延春 吴春华 王洁冰 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 从ZnO薄膜的晶体结构、光学性能、电学性能、光电特性、气敏特性等方面综述了ZnO的研究重点和应用前景。
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 晶体结构 光电特性 气敏特性 |
APPLICATION AND PROPERTIES OF ZnO THIN FILM |
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| ZHAO Yin-zhong,LI Lin,XU Min,HE Yan-chun,WU Chun-hua,WANG Jie-bing. APPLICATION AND PROPERTIES OF ZnO THIN FILM[J]. Vacuum and Cryogenics, 2009, 15(1): 48-51 |
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| Authors: | ZHAO Yin-zhong LI Lin XU Min HE Yan-chun WU Chun-hua WANG Jie-bing |
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| Affiliation: | ( National Key Laboratory of Surface Engineering, Lanzhou institute of Physics, Lanzhou 730000, China) |
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| Abstract: | Research points and application prospects of ZnO film are reviewed in terms of its crystal structure, optical property, electrical property, photo-electricity and sensing properties. |
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| Keywords: | ZnO film crystal structure photo-electricity sensing properties |
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