| RF MEMS开关的桥膜弹性系数计算 |
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| 引用本文： | 邵雯雯,惠春,徐爱兰. RF MEMS开关的桥膜弹性系数计算[J]. 电子元件与材料, 2005, 24(3): 47-50 |
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| 作者姓名： | 邵雯雯 惠春 徐爱兰 |
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| 作者单位： | 薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030;薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030;薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030 |
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| 摘 要： | 桥膜弹性系数是影响RFMEMS开关启动电压的重要参量。对RFMEMS开关进行静态力学分析,指出常用的桥膜弹性系数的计算公式未考虑开关实际采用的共面波导(CPW)结构。考虑桥膜上实际的静电力分布,修正了桥膜弹性系数的计算公式。根据修正后的计算公式,进一步探讨了减小桥膜弹性系数的方法,以降低开关的启动电压。
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| 关 键 词： | 电子技术 RF MEMS开关 桥膜 驱动电压 弹性系数 |
| 文章编号： | 1001-2028(2005)03-0047-04 |
Computation of the Spring Constant to Reduce the Actuation Voltage of RF MEMS Switches |
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| SHAO Wen-wen,HUI Chun,XU Ai-lan. Computation of the Spring Constant to Reduce the Actuation Voltage of RF MEMS Switches[J]. Electronic Components & Materials, 2005, 24(3): 47-50 |
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| Authors: | SHAO Wen-wen HUI Chun XU Ai-lan |
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| Abstract: | The mechanical modeling of the RF MEMS switch was presented. Based on the consideration of the real force distribution along the switch’s bridge, a modified formula for the spring constant was proposed. Using the formula, ways to reduce the spring constant were discussed in order to reduce the actuation voltage of the switch. |
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| Keywords: | electronic technology RF MEMS switch bridge actuation voltage spring constant |
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