| 非接触式微位移光纤传感器 |
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| 引用本文： | 朱建中 薛静琪 俞国林 史智华. 非接触式微位移光纤传感器[J]. 传感技术学报, 1990, 3(2) |
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| 作者姓名： | 朱建中 薛静琪 俞国林 史智华 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所(朱建中，薛静琪，俞国林)，中国科学院上海冶金研究所(史智华) |
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| 摘 要： | 本文描述了用于装配电子枪时控制阴极与第一栅极间距的光纤传感器的结构及其测量系统.传感器的测量范围为10～160μm,精度可达3.8%.讨论了影响传感器特性的若干因素,如制作工艺、表面粗糙度、倾斜度、环境温度和LED的光谱特性.
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| 关 键 词： | 光纤传感器 位移测量 电子枪装配 |
A Non-contact Fiber-optic Sensor with Monitoring the Distance of Submicrometers |
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| Zhu Jianzhong Xue Jingqi Yu Guolin Shi Zhihua. A Non-contact Fiber-optic Sensor with Monitoring the Distance of Submicrometers[J]. Journal of Transduction Technology, 1990, 3(2) |
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| Authors: | Zhu Jianzhong Xue Jingqi Yu Guolin Shi Zhihua |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | fiber-optic sensor monitoring the distance assembly of electron gun |
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