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| 飞秒激光作用下金膜的微观特性变化 | |
| 作者姓名： | 崔云 张晗宇 赵元安 晋云霞 朱美萍 邵建达 |
| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室薄膜光学实验室 |
| 摘 要： | 用磁控溅射的方法在石英基底上制备了金(Au)膜,研究了Au膜在近激光损伤阈值(LIDT)飞秒脉冲激光辐照下的物相结构和表面形貌。结果表明:所制备的Au膜为(111)面取向生长的薄膜;近LIDT的激光辐照使辐照区的Au膜形成大晶粒,并由(111)单一取向变为多晶结构;Au膜晶粒尺寸的增大会导致表面粗糙度增加。实验结果为明确Au膜在飞秒激光作用下的损伤过程及后期应用提供了依据。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |