靶磁场强度对电弧离子镀沉积TiAlSiN硬质涂层内应力的影响 |
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引用本文: | 陈亚奋,郭子铭,惠瑜,辛宾宾.靶磁场强度对电弧离子镀沉积TiAlSiN硬质涂层内应力的影响[J].真空与低温,2024(1):57-63. |
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作者姓名: | 陈亚奋 郭子铭 惠瑜 辛宾宾 |
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摘 要: | 用电弧离子镀制备的TiAlSiN硬质涂层,具有硬度高、致密性好、结合力优良的优点,在刀具工业中有广泛的应用市场。TiAlSiN硬质涂层的内应力不仅会影响涂层的硬度和结合力,也会影响刀具的切削寿命。研究了用电弧制备TiAlSiN涂层过程中,TiSi靶的磁场强度变化对涂层内应力的影响。结果表明,当TiSi靶的磁场从MAG3调为MAG6时,磁场强度减弱,靶材离化率降低,TiAlSiN涂层的内应力从-5.84 GPa降低到-3.16 GPa,而涂层的结合力和硬度几乎没有降低,切削寿命提高了30%。研究为提高TiAlSiN涂层的性能,进而提升刀具的使用寿命提供了有价值的试验数据。
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关 键 词: | 电弧离子镀 TiAlSiN TiSi靶 磁场强度 内应力 |
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