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| 绒面掺铝氧化锌薄膜的制备及其特性研究 | |
| 引用本文： | 刘菲,杨瑞霞,薛俊明,雷青松,孟丽华,侯春旺.绒面掺铝氧化锌薄膜的制备及其特性研究[J].半导体技术,2012,37(11). |
| 作者姓名： | 刘菲 杨瑞霞 薛俊明 雷青松 孟丽华 侯春旺 |
| 作者单位： | 河北工业大学 信息工程学院,天津,300401;河北汉盛光电科技有限公司,河北衡水,053000 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 中频脉冲磁控溅射 AZO薄膜 衬底温度 光电性质 绒面结构 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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