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| 本征微晶硅材料及其在电池中的应用 | |
| 引用本文： | 高艳涛,张晓丹,赵颖,朱锋,魏长春,孙建,耿新华,熊绍珍.本征微晶硅材料及其在电池中的应用[J].真空科学与技术学报,2005,25(5):388-390,395. |
| 作者姓名： | 高艳涛 张晓丹 赵颖 朱锋 魏长春 孙建 耿新华 熊绍珍 |
| 作者单位： | 1. 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津,300071 2. 南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津,300071 3. 光电信息技术科学教育部重点实验室,南开大学,天津大学,天津,300071 |
| 基金项目： | 科技部科研项目，教育部新世纪优秀人才支持计划，国家自然科学基金，新材料领域项目，天津市科技攻关项目 |
| 摘 要： | 采用VHF-PECVD技术制备了系列不同硅烷浓度和功率的微晶硅薄膜.材料的电学特性和结构特性测试结果表明:制备出了符合太阳电池用的本征微晶硅薄膜.材料应用于电池中,制备出了效率达6.6%的微晶硅电池,没有ZnO背反射电极,而且电池的厚度仅为1.0 μm. |
| 关 键 词： | 甚高频等离子体增强化学气相沉积 微晶硅薄膜 微晶硅电池 |
| 文章编号： | 1672-7126（2005）05-0388-03 |
| 收稿时间： | 2004-12-29 |
| 修稿时间： | 2004-12-29 |
Intrinsic Microcrystalline Silicon Thin Films and Its Application in Microcrystalline Silicon Solar Cells |
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| Gao Yantao,Zhang Xiaodan,Zhao Ying,Zhu Feng,Wei Changchun,Sun Jian,Geng Xinhua,Xiong Shaozhen.Intrinsic Microcrystalline Silicon Thin Films and Its Application in Microcrystalline Silicon Solar Cells[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2005,25(5):388-390,395. | |
| Authors: | Gao Yantao Zhang Xiaodan Zhao Ying Zhu Feng Wei Changchun Sun Jian Geng Xinhua Xiong Shaozhen |
| Affiliation: | 1, Instiute of photo-electronics thin film devices and techaique of Nankai University, Tianjin ,300071, China ; 2. Key Laboratory of photo-electronics thin film devices and technique of Tianjin, Tianfin, 300071, China ; 3. Key Laboratory of Opto-electronic Information Science and Technology( Nankai University, Tianjin University |
| Abstract: | |
| Keywords: | Very high frequency plasma enhanced chemical vapor deposition Microcrystalline silicon thin film Microcrystalline silicon solar cells |
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