解决0.18μm光刻批量生产的五大技术要素

介绍了解决０．１８μｍ光刻批量生产的五在技术要素，即曝光装置，倾斜（离轴）照明技术，相移掩模技术、光学邻近效应修正技术和光刻胶及工艺。