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空间生长半绝缘GaAs单晶的器件研究
作者姓名:张绵 王云生
摘    要:试图从器件应用角度来评价空间生长半绝缘GaAs单晶性能。为此我们选择了设计制备相对成熟、对材料性能要求的侧重面又不尽相同的器件和IC,并选择了六个与材料关系密切的参数作为评价的标称参数。实验结果表明,空间生长的半绝缘GaAs单晶的全面电性能均优于常规IEC半绝缘GaAs单晶。

关 键 词:空间生长 砷化镓单晶 半导体器件
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