21世纪初微电子技术发展展望

综述了微电子领域中纳米技术，ＭＥＭＳ，Ｓｉ和ＧａＡｓ集成电路，微波／毫米波器件及宽禁带半导体技术目前的发展状况。在此基础上，对其在２１世纪初期的发展做了展望。