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SOI技术及其抗辐射加固性能研究

作者姓名：	王长河

摘要：	回顾了ＳＯＩ技术的发展过程，阐述了各种ＳＯＩ基本结构，分析了ＳＯＩ结构抗瞬时辐射加固的性能。．
关键词：	SOI技术瞬时辐射闩锁效应硅半导体薄膜技术
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