硅微波功率DMOSFET发展现状

简要地评述了硅微波功率ＤＭＯＳＦＥＴ（ＬＤＭＯＳ，ＶＤＭＯＳ）的发展概况，叙述了硅微波功率ＤＭＯＳ的基本结构和一些重要的制造技术。对微波功率ＤＭＯＳ的性能，特点与ＢＪＴ进行了比较，并对其应用，发展方向及前景进行了探讨。