电子束曝光机(一)

为了宣传和普及微细加工技术方面的知识,本刊应读者的要求,从今年一期起增辟微细加工技术讲座专栏。本期发表的《电子束曝光机》一文是该文译者在英国剑桥大学进修期间,根据美国科学出版社出版的《Electron—BeamTechnology in Microelectronic Fabrication》一书第三章”ElectronBeam Lithography Machine”中的内容编译的。该文详细地介绍了电子束曝光机的结构、主要功能和有代表性的光棚扫描、矢量扫描及变形束机的工作性能、设计方案以及作图模式等,对希望了解电子束曝光技术的人员,对已具备电子束曝光技术初步知识而又想进一步掌握机器原理、操作、设计考虑和发展动向的人员,是一份较好的学习教材,对从事这类机器研制的人员也很有参考价值。本刊将分期连续予以登载。