第二十二讲 化学气相沉积（CVD）技术

<正>（接2023年第3期88页）（6）电控系统。电控系统由立式电控柜、高低真空量规、数显复合真空计及欧陆温控仪组成，主要用于真空系统的检测和控制、温度的实时测量和控制。可实现30段程序控温，控温精度±2℃，并能做到真空和加热的连锁控制，设备的灵敏性和可靠性高。