面向单臂组合设备中紧急订单的调度 |
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引用本文: | 李金成,潘春荣.面向单臂组合设备中紧急订单的调度[J].信息与控制,2023(5):626-637. |
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作者姓名: | 李金成 潘春荣 |
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作者单位: | 江西理工大学机电工程学院 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(72161019); |
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摘 要: | 随着晶圆制造模式向多品种、小批量的转变,在实际生产过程中频繁出现紧急订单插入的情况,不合理的调度策略将降低组合设备生产效率。为了提高组合设备的生产柔性,研究了在考虑晶圆逗留时间约束条件下,单臂组合设备面对紧急插单时的调度问题。首先,对紧急插单的加工过程进行分析,提出针对单臂组合设备的机械手调度规则,实现了加工过程的可调度性。其次,对于因加工参数不同产生的两种加工状态,分别推导出可调度性判断条件,然后给出用于求解机械手等待时间的数学解析式。最后,提出组合设备面对紧急插单时的最优调度算法,并通过实例验证和对比分析的方法验证了该调度方法的有效性。
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关 键 词: | 晶圆制造 组合设备 时间约束 紧急订单 |
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