A Novel Turbomolecular Pump for R&D and Analytical Applications

Eine neuartige Turbo‐Molekularpumpe für Anwendungen in Forschung und Analytik Turbo‐Molekularpumpen sind Hochvakuum‐Pumpen, die sowohl zur Erzielung sehr niedriger Enddrücke im Bereich herunter bis zu 10^?10 mbar als auch zur Erreichung von hohen Prozessgas‐Flüssen im Druck‐Bereich bis herauf auf 10^?3 mbar eingesetzt werden. Saugvermögen und Kompression einer solchen Pumpe hängen wesentlich ab von der Größe des Einlass‐Flansches, dem Design und der Rotationsgeschwindigkeit des Rotors und ggf. der Holweck‐Stufe sowie von der Gas‐Art der zu pumpenden Gase. Die Entwicklung der neuen TURBO‐VAC i/iX Turbo‐Molekularpumpe von Oerlikon Leybold Vacuum zielte auf die Realisierung hohen Saugvermögens und hoher Kompression insbesondere auch für leichte Gase ab. Sowohl Rotor‐Design als auch Lagerkonzept wurden speziell auf diese Anforderungen optimiert, u. a. auch durch den Einsatz moderner Computer‐Simulatonsmethoden. Das Konzept konnte sich bereits erfolgreich in Anwendungen der Analysen‐Technik und Forschung bewähren.