| 小孔流导法测量材料放气率研究 |
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| 引用本文： | 曾祥坡,张涤新,冯焱,成永军,赵澜,卢耀文. 小孔流导法测量材料放气率研究[J]. 真空, 2010, 47(3) |
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| 作者姓名： | 曾祥坡 张涤新 冯焱 成永军 赵澜 卢耀文 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 本文介绍了小孔流导法测试材料放气率的原理和方法,分析了影响材料放气率测量的各种因素,讨论了测量范围,提出了改进方法。系统本底是影响测量下限的主要因素,采用双测试室测量本底的方法,可较好的解决这个问题,为材料放气率测量系统的设计提供依据。
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| 关 键 词： | 材料 放气率 系统本底 小孔 |
Study on measuring outgassing rate of materials via orifice throughput method |
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| ZENG Xiang-po,ZHANG Di-xin,FENG Yan,CHENG Yong-jun,ZHAO Lan,LU Yao-wen. Study on measuring outgassing rate of materials via orifice throughput method[J]. Vacuum(China), 2010, 47(3) |
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| Authors: | ZENG Xiang-po ZHANG Di-xin FENG Yan CHENG Yong-jun ZHAO Lan LU Yao-wen |
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