| 镍钛记忆合金薄膜的制备与结构 |
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| 引用本文： | 徐东,戚震中,李依群,蔡炳初,漆璇,郭亮,江伯鸿. 镍钛记忆合金薄膜的制备与结构[J]. 真空科学与技术学报, 1997, 0(5) |
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| 作者姓名： | 徐东 戚震中 李依群 蔡炳初 漆璇 郭亮 江伯鸿 |
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| 作者单位： | 上海交通大学信息存储中心!上海200030(徐东，戚震中，李依群，蔡炳初)，上海交通大学材料科学系!上海200030(漆璇，郭亮，江伯鸿) |
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| 摘 要： | 采用射频溅射法成功地制备了NiTi形状记忆合金薄膜。研究了不同成分靶材对膜最终成分的影响。电子探针和俄歇能谱仪测定结果表明，在Ni（50at％）／Ti（50at％）的靶材上添入适量的Ti，可以获得Ni／Ti为1：1的薄膜。经晶化处理后，其结构为B2，用电阻法和差热分析确定TAs，TAf，TMs和TMf点分别为22，44，30，60℃。观察到了形状记忆现象。
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| 关 键 词： | 形状记忆合金 射频磁控溅射 NiTi合金膜 |
Preparation and Structures of NiTi Shape Memory Alloy Thin Films |
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| Xu Dong,Qi Zhengzhong,Li Yiqun,Cai Bingchu. Preparation and Structures of NiTi Shape Memory Alloy Thin Films[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 1997, 0(5) |
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| Authors: | Xu Dong Qi Zhengzhong Li Yiqun Cai Bingchu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Shape memory alloy RF magnetron sputtering NiTi alloy thin film |
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