| 磁控溅射MgxZn1-xO薄膜的结构与光学性能研究 |
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| 引用本文： | 郭瑞,李东临,王怡,武光明,邢光建.磁控溅射MgxZn1-xO薄膜的结构与光学性能研究[J].材料导报,2010,24(16). |
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| 作者姓名： | 郭瑞 李东临 王怡 武光明 邢光建 |
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| 作者单位： | 北京化工大学材料科学与工程学院,北京,100029;北京石油化工学院,北京,102617;北京石油化工学院,北京,102617 |
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| 基金项目： | 北京市教育委员会科技计划面上项目 |
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| 摘 要： | 利用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上沉积了MgxZn1-xO(x=0～0.2)薄膜.采用X射线衍射仪、紫外-可见光分光光度计和荧光光谱仪研究了Mg掺杂量对MgxZn1-xO薄膜结构与光学性能的影响.XRD图谱表明,MgxZn1-xO薄膜均为六角纤锌矿结构,并且呈现出C轴择优生长特性,当x>0.1时薄膜出现(100)面衍射峰,薄膜的c轴择优生长特性减弱,随着x值的增加,晶格常数c逐渐减小.紫外可见光透射光谱表明,Mg的掺入提高了薄膜在可见光范围内的透过率,同时使薄膜的禁带宽度增大.PL谱分析显示,Mg的掺入使薄膜的紫外发射峰和蓝光发射带发生蓝移,当x=0.1时近带边发射峰与杂质发射的强度比值最高.
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| 关 键 词： | MgxZn1-xO薄膜 射频磁控溅射 透过率 光致发光谱 |
Study on Structure and Optical Properties of MgxZn1-xO Thin Films by RF-magnetron Sputtering |
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| GUO Rui,LI Donglian,WANG Yi,WU Guangming,XING Guangjian.Study on Structure and Optical Properties of MgxZn1-xO Thin Films by RF-magnetron Sputtering[J].Materials Review,2010,24(16). |
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| Authors: | GUO Rui LI Donglian WANG Yi WU Guangming XING Guangjian |
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