| 微机械陀螺仪检测反馈控制系统研究 |
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| 引用本文： | 曾辉,周百令,苏岩,夏敦柱.微机械陀螺仪检测反馈控制系统研究[J].传感器与微系统,2005,24(3):32-34. |
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| 作者姓名： | 曾辉 周百令 苏岩 夏敦柱 |
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| 作者单位： | 东南大学,仪器科学与工程系,江苏,南京,210096 |
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| 摘 要： | 以单自由度硅微振动轮式陀螺仪的检测动极板为控制对象,系统的结构特性决定了只能选择反馈控制方式对其进行控制。为实现这种控制对控制系统进行建模以及设计合适的校正环节。反馈方式控制的应用可以有效地改善系统的动态特性和稳态特性。加入校正环节后的系统幅值和相角裕度分别达到了17.5dB和57.3°,这为实际的应用提供了指导。
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| 关 键 词： | 硅微振动轮式陀螺仪 微机械 反馈控制 |
| 文章编号： | 1000-9787(2005)03-0032-03 |
| 修稿时间： | 2004年9月26日 |
Research on feedback control system of sense signal in micromachined gyroscope |
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| ZENG Hui,ZHOU Bai-ling,SU Yan,XIA Dun-zhu.Research on feedback control system of sense signal in micromachined gyroscope[J].Transducer and Microsystem Technology,2005,24(3):32-34. |
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| Authors: | ZENG Hui ZHOU Bai-ling SU Yan XIA Dun-zhu |
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| Abstract: | The control object in a single-freedom silicon micromachined vibratory gyroscope is the proof mass,because of system structure,feedback control is the only choice to control the proof mass.Realization of the control needs analysis and design of the feedback control loop.Adoption of appropriate feedback contol loop will greatly improve the dynamic and static characteristic of the control system.Added the compensation,gain margin and phase margin can respectively reach almost 17.5dB and 57.3°,which can offer a pratical guidance. |
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| Keywords: | silicon micromachined vibratory gyroscope MEMS(microelectromechanical system) feedback control |
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