Affiliation: | aFraunhofer-Center Nanoelectronic Technologies, 01099 Dresden, Germany;bGlobalfoundries Dresden Module One LLC & Co. KG, 01109 Dresden, Germany;cRobert Koch-Institute, 13353 Berlin, Germany;dNT-MDT Co., 124482 Moscow, Russia;eInstitut für Angewandte Photophysik, Technische Universität Dresden, 01062 Dresden, Germany |