2～2,7和3～5μm硅红外探测器的掺杂剂评述

为继续探索将红外探测器和硅信号处理线路放在同一衬底上,实验评述了2～27和3～5μm 红外波段可用的掺杂剂.研究了元素镀(Be),铜(Cu)、锌(Zn)、镍(Ni)、铥(Tu)和镱(Yb)的可用性。给出了光谱响应以及探测度随温度变化的测量曲线,并与理论进行了比较。对照过去研究过的3～5μm 波段 SiS 和 Si:Ti 探测器,对其中某些掺杂剂(Si:Cu,Si:Zn)的各种有用特性(包括更高的工作温度)和所观察到的限制进行了讨论和评论。