控制静压轴承间隙实现精密定位机构的特性(研制报告之二)

1.前言前篇论文讨论了应用控制静压轴承间隙实现精密定位机构的原理和基本数据。本文再讨论控制系统的设计、精密定位特性、运动精度、动态特性及稳定性。