基片表面应力对类石墨复合膜性能的影响 |
| |
引用本文: | 宇文江涛,王佐平,张亚娟,王育召,丁超,龙晓云,符昊.基片表面应力对类石墨复合膜性能的影响[J].热加工工艺,2019(10). |
| |
作者姓名: | 宇文江涛 王佐平 张亚娟 王育召 丁超 龙晓云 符昊 |
| |
作者单位: | 中国船舶重工集团西安船舶工业有限公司;中国船舶重工集团公司第十二研究所 |
| |
摘 要: | 试样基片经常规渗碳、淬火及不同的表面处理后,应用非平衡闭合磁控溅射技术在其表面镀制类石墨复合膜,分析不同基片应力状态下复合膜的组织和性能,研究基片表面不同应力状态对类石墨复合膜性能的影响。结果表明:表面应力状态对类石墨复合膜的形貌、成分、成膜速度及综合性能有一定的影响,适当的压应力可以有效改善类石墨复合膜的摩擦学性能。
|
本文献已被 CNKI 等数据库收录! |
|