| 石英晶体膜厚监控仪在红外镀膜中的初步应用 |
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| 引用本文： | 李复蝉,蒲发通. 石英晶体膜厚监控仪在红外镀膜中的初步应用[J]. 激光技术, 1987, 11(3): 11-17 |
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| 作者姓名： | 李复蝉 蒲发通 |
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| 作者单位： | 1.西南技术物理研究所 |
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| 摘 要： | 本文介绍了兰州物理所研制的SF-3A石英晶体膜厚监控仪在红外镀膜(10.6μm波段)中的初步实验应用。SF-3A作为光学镀膜的膜厚监测是可行的,实验结果与理论计算一致,与光电极值法的效果相同。
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| 收稿时间： | 1986-11-17 |
The preliminary application of the quartz crystal monitor to infrared coating |
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| Abstract: | The preliminary experiments using the model SF-3A quartz crystal monitor for infrared coating are described.SF-3A monitor is feasible as a film thickness monitor,and the resulting results are consistent with the calculation and similar with optical monitoring. |
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