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| 用Monte-Carlo法对制备Y_1Ba_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜过程的模拟 | |
| 引用本文： | 韩瑞雪,李占柱,梁翠果,白鹤翔.用Monte-Carlo法对制备Y_1Ba_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜过程的模拟[J].真空,1991(3). |
| 作者姓名： | 韩瑞雪 李占柱 梁翠果 白鹤翔 |
| 作者单位： | 南开大学电子科学系 天津市300220 (韩瑞雪，李占柱，梁翠果)，南开大学电子科学系 天津市300220(白鹤翔) |
| 摘 要： | 本文利用蒙特卡洛方法对Ｙ１Ｂα２Ｃｕ３Ｏ７－δ超导薄膜制备过程中， Ｙ、Ｂａ、Ｃｕ的溅射和沉积过程进行了模拟，得到了按各种角分布溅出的Ｙ、Ｂａ、Ｃｕ三种原子的沉积粒子数随Ｒ，ｚ的变化规律，并通过计算结果与实验结果的比较初步确定了Ｙ、Ｂａ、Ｃｕ三种原子在被溅出时的角分布。 |
| 关 键 词： | 成份比 溅射 沉积 角分布 计算 |
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