| 强束流脉冲金属离子束表面改性技术及其应用 |
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| 引用本文： | 杨建华. 强束流脉冲金属离子束表面改性技术及其应用[J]. 表面技术, 2003, 32(1): 59-61 |
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| 作者姓名： | 杨建华 |
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| 作者单位： | 南通工学院基础部,江苏,南通,226007 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;59671051; |
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| 摘 要： | 介绍了强束流脉冲金属离子束技术的基本原理和主要优点,并用由金属蒸汽真空弧离子源(MEWA)引出的强束流脉冲Ti、Mo、W、Ta、C离子对Cr12、H21、H13钢进行了离子注入材料改性试验。注入剂量为3×1017～5×1017cm-2,引出电压为25～48kV,平均束流为25～50μA/cm2。用卢瑟福背散射谱(RBS)测量了注入样品表面的成分,借助X射线行射仪(XRD))和X射线光电子能谱仪(XPS)考察了注入样品的耐磨机理。
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| 关 键 词： | 离子注入 结构 成分 强束流脉冲 表面改性 金属表面 |
| 文章编号： | 1001-3660(2003)01-0059-03 |
Surface Modification Technology and Application of High Flux Pulsed Metal Ion Beam |
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| YANG Jian-hua. Surface Modification Technology and Application of High Flux Pulsed Metal Ion Beam[J]. Surface Technology, 2003, 32(1): 59-61 |
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| Authors: | YANG Jian-hua |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ion implantation Structure composition Hign flux pulse Surface modification metal surface |
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