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| 铁电微电容的制作工艺 | |
| 引用本文： | 曹广军 吴正元. 铁电微电容的制作工艺[J]. 压电与声光, 1995, 17(1): 33-35 |
| 作者姓名： | 曹广军 吴正元 |
| 摘 要： | 研究了铁电电容的制作工艺，摸索了Ｐ（Ｌ）ＺＴ铁电薄膜及上、下电极材料的微细图形加工工艺条件，总结出切实可行的工艺流程及相应的工艺条件。 |
| 关 键 词： | 铁电薄膜 铁电电容 铁电材料 |
Fabrication Process of Ferroelectric Microcapacitors |
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| Abstract: | |
| Keywords: | erroelectric film ferroelectric capacitor microprocess |
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