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| 非球面光学面形检测仪 | |
| 作者姓名： | 苗静 |
| 摘 要： | 该仪器采用相移式横向剪切干涉技术，一种数字波面测试技术．其原理是将相干两个剪切波面中的一个波面作阶梯式或连续变化，从而使干涉场中的干涉条纹作阶梯式或连续式扫描，用CCD相机获取干涉场中各点的光强，利用图像中各点光强的变化关系，求出被测波面的位相信息或波面面形．由于横向剪切干涉技术是利用被测波面自身实现干涉的，不需要标准的参考面，测试装置简单、测量速度快、测量精度高，且可以实时对剪切干涉图进行采集与处理，得到被测原始波面的信息． |
| 关 键 词： | 非球面光学 面形 检测仪 剪切波面 干涉技术 横向剪切 CCD相机 连续变化 |
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