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| 基于感应耦合比率臂的高精度位移测量系统 | |
| 引用本文： | 欧阳祖熙,张宗润,何成平.基于感应耦合比率臂的高精度位移测量系统[J].电子技术应用,2004,30(10):41-43. |
| 作者姓名： | 欧阳祖熙 张宗润 何成平 |
| 作者单位： | 北京中国地震局地壳应力研究所,100085;北京中国地震局地壳应力研究所,100085;北京中国地震局地壳应力研究所,100085 |
| 摘 要： | 讨论了比率测量方法的优点,介绍了运用感应耦合比率臂和差动式电容位移传感器设计的高精度微小位移测量系统。给出了一种实验系统的设计例子和主要的测试结果,说明了该设计在小位移测量中的有效性。 |
| 关 键 词： | 位移测量 感应耦合比率臂 电容传感器 纳米测量 |
| 修稿时间： | 2004年5月10日 |
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