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硅中铂杂质能级的电子辐照效应
引用本文:龚敏,游志朴.硅中铂杂质能级的电子辐照效应[J].半导体学报,1987,8(2):207-209.
作者姓名:龚敏  游志朴
作者单位:四川大学物理系 (龚敏),四川大学物理系(游志朴)
摘    要:观测到掺铂硅中 E_c-0.23eV能级的 DLTS信号因电子辐照而衰减,而E_v+0.32eV能级则对电子辐照不敏感.这一实验结果使我们认为,掺铂硅中的两个能级不是与同一个深中心有关的.

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