| 离子减薄技术和硬脆材料透射薄膜样品的制备 |
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| 引用本文： | 李树强,王世宽,郑秀芳,李雪缘.离子减薄技术和硬脆材料透射薄膜样品的制备[J].物理测试,1985(2). |
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| 作者姓名： | 李树强 王世宽 郑秀芳 李雪缘 |
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| 作者单位： | 钢铁研究总院，钢铁研究总院，钢铁研究总院，钢铁研究总院 |
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| 摘 要： | 一、离子减薄仪的基本结构离子减薄仪(GL—69型)的结构如图1所示。由真空室,离子枪(双枪)、样品台、真空系统及照明监视、控制等几部分组成。两个离子枪从真空室两侧插人,样品台由真空室上部垂直插入,离子束以一定的掠射角(连续可调)从样品的两侧轰击样品。有一聚光灯从样品背面照明,当样品出现微孔时停止减薄,在微孔周围薄区部分可供电镜透射观察。二、实验条件选择及其对样品质量的影响采用离子减薄技术制备透射薄膜样品的速度很缓慢,一般地说来,只有O.5～2μm/h。制得样品的质量(薄区的面积)和速度跟所选的实验条件关系很大。主要与下述因素有关: 1.加速电压离子的能量是由加速电压决定的,当加速电压高时,离子的能量高,当然减薄的速度也就加快,随着电压的升高,样品薄区内厚度起伏也开始严重。当电压加至9kV以上时,某些不耐离子轰击的材料可能会产生辐
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