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| 反应溅射选择性吸收膜的研究 | |
| 作者姓名： | 郭信章 尹万里 于凤勤 |
| 作者单位： | 北京市太阳能研究所 100083(郭信章，尹万里)，北京市太阳能研究所 100083(于凤勤) |
| 摘 要： | 叙述真空管集热器用的太阳能高温选择性吸收膜氮氧化铝(AlN_xO_y)的制备及性能。采用金属铝单靶反应溅射,在铝基体上沉积吸收膜,其吸收率α_(HT)=0.94,热发射率ε_(310℃)=0.136。 |
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