| 窄谱UVB联合复方氟米松软膏治疗手足慢性湿疹 |
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| 引用本文： | 黄咏梅. 窄谱UVB联合复方氟米松软膏治疗手足慢性湿疹[J]. 压电与声光, 2010, 32(4) |
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| 作者姓名： | 黄咏梅 |
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| 作者单位： | 上海大学,材料科学与工程学院,上海,200072 |
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| 基金项目： | 上海市教育基金会联盟计划资助项目，上海市重点科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 实验采用射频磁控溅射法,通过多次短时沉积和热处理工艺,以玻璃为衬底在不同射频功率下制备了ZnO薄膜,探讨了射频功率对薄膜结构、光及电性能等方面的影响.结果表明,在低于300 W的功率下,采用多步法制备的薄膜表面平整致密,晶粒均匀,具有良好的c轴定向.且薄膜的可见光透过率在80%以上,电阻率达到1010Ω·cm.
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| 关 键 词： | Zn0薄膜 多步法 射频(RF)磁控溅射法 c轴定向 |
Preparation of ZnO Thin Films by Multi-stepped RF Magnetron Sputtering Method |
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| MA Ji,ZHU Xingwen,XU Qiong,ZHANG Fang. Preparation of ZnO Thin Films by Multi-stepped RF Magnetron Sputtering Method[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2010, 32(4) |
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| Authors: | MA Ji ZHU Xingwen XU Qiong ZHANG Fang |
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| Keywords: | |
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