| 用于SAW器件的C轴择优取向LiNbO3薄膜的制备及结构研究 |
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| 引用本文： | 杨保和,陈希明,赵捷,杨晓苹,徐晟,李明. 用于SAW器件的C轴择优取向LiNbO3薄膜的制备及结构研究[J]. 光电子．激光, 2006, 17(3): 261-264 |
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| 作者姓名： | 杨保和 陈希明 赵捷 杨晓苹 徐晟 李明 |
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| 作者单位： | 天津理工大学光电信息学院,天津,300191;天津理工大学光电信息学院,天津,300191;天津理工大学光电信息学院,天津,300191;天津理工大学光电信息学院,天津,300191;天津理工大学光电信息学院,天津,300191;天津理工大学光电信息学院,天津,300191 |
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| 基金项目： | 中国科学院资助项目;天津市教委资助项目 |
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| 摘 要： | 采用射频（RF）磁控溅射法在金刚石（111）衬底上沉积LiNbO3（LN）薄膜，借助X射线衍射技术（XRD），研究了外加偏压（0～80V）和衬底温度（200～500℃）等工艺参数对LiNbO3薄膜结构和取向性的影响。实验结果表明，在衬底温度为200℃、外加偏压为～80V的T艺条件下，LiNbO3的（006）衍射峰强度超过LN的（012）衍射峰强度，在金刚石（111）衬底上获得较高c轴取向的LN薄膜。并且对C轴择优取向LN薄膜的形成机理进行了探讨。
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| 关 键 词： | 声表面波(SAW) LiNbO3薄膜 金刚石 射频磁控溅射 择优取向 |
| 文章编号： | 1005-0086（2006）03-0261-04 |
| 收稿时间： | 2005-08-13 |
| 修稿时间： | 2005-08-13 |
Preparation and Structure of Higher C-axis Oriented LiNbO3 Thin Films for SAWD |
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| YANG Bao-he,CHEN Xi-ming,ZHAO Jie,YANG Xiao-ping,XU Sheng,LI Ming. Preparation and Structure of Higher C-axis Oriented LiNbO3 Thin Films for SAWD[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2006, 17(3): 261-264 |
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| Authors: | YANG Bao-he CHEN Xi-ming ZHAO Jie YANG Xiao-ping XU Sheng LI Ming |
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| Affiliation: | School of Photoelectronics, Tianjin University of Technology, Tianjin, 300191, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | surface-acoustic wave(SAW) LiNbO_3 thin films diamond RF magnetron sputtering preferential orientation |
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